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      5. 
    







      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
      
                                    
      
                                        0755-82112558
      
136-3151-6816
                                    
      
                                
      
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      


      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                            
                            
      
                                
      
                                    
      
                                        
      
                                            
                                        
      
                                    
      
                                
      
                            
      
                        
      
                        
      
                            
                            
      
                                
      
                                
      0755-82112558
      
136-3151-6816
      
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      








      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                        

                            
      
                        
      
                    
      

                
      
                          
      
                              
      
                                  
      
                                      
                                      
      
                                          
    5. 首頁
      6. 
                                              
    6. /產品展示
      7. 
                                              
    7. /次系統
      8. 
                                          
    8. /線性馬達定位平臺
      9. 
                                      
      
                                  
      
                              
      
                          
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      




      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                    空氣軸承定位平臺
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
        
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      空氣軸承定位平臺
      
                        
      
                    
      
                
      
                
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
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      針對先端半導體與面板制程設備所開發之奈米空氣軸承定位平臺。領先同業采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態反作用力平衡與慣性補償技術，可于千分之一秒內達到奈米誤差內要求，大幅減少運動整定時間與元件磨耗率，提升設備生產力與可靠性。完整智能化遠端系統偵測與全球客服支持提供，幫助客戶大幅縮短設備開發時程，節省許多整合時間與成本，使其更聚焦本身關鍵制程Know-how。
      
                
      
            
      
        
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      
                        
                    
      
                
      
            
      
        
      
    
      

      

      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
      
                        
        
                        
      
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                
      
            
      

           



            
      
                
      
                    
      
                        
                    
      
                
      
            
      

            
      
                
      
                    
      
                        
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      
                        
                                                
                    
      
                
      
            
      
            
      
                
      
                    
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                                        看不清,換一張!
                                    
      
                                
      
                                
      
                                    
                                
      
                                
                                
                                
                                
                                
                            
      
                        
      
                    
      
                
      
            
      
        
      
        
      
    
      

      






      




      
    
      
        
      
            
      
                
      
                    
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